Отдел молекулярной биофизики

RU ENG

Экспериментальные и теоретические методы исследования и оборудование

Получение пленок

Установка на базе вакуумного поста ВУП-5М (вакуум 10 -7 Торр) предназначена для получения пленок следующими методами:

  1. термическое испарение (до 3000 о С),
  2. испарение электронным пучком,
  3. магнетронное распыление.

Установка оснащена кварцевыми микровесами для контроля толщины пленки во время роста. Есть возможность облучения пленки во время роста светом ультрафиолетовой лампы или лазером.