Отдел молекулярной биофизики

Установка на базе вакуумного поста ВУП-5М (вакуум 10 -7 Торр) предназначена для получения пленок следующими методами:

1. термическое испарение (до 3000 о С),
2. испарение электронным пучком,
3. магнетронное распыление.

Установка оснащена кварцевыми микровесами для контроля толщины пленки во время роста. Есть возможность облучения пленки во время роста светом ультрафиолетовой лампы или лазером.